FT-351高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間： 2023-06-01 10:31:23 點(diǎn)擊： 6022
FT-351高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)詳情介紹
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合
2. 配置高溫四探針測(cè)試探針治具
3. PC軟件對(duì)數(shù)據(jù)的處理和測(cè)量控制.
4. 量程測(cè)試范圍.
應(yīng)用說(shuō)明：
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求，測(cè)控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過(guò)程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
適用行業(yè)：Applicable industry:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測(cè)量。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法
標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters：
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規(guī)格型號(hào)Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方塊電阻范圍sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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2.電阻率范圍resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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3.測(cè)試電流范圍test current range |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.電流精度current accuracy |
±0.1%讀數(shù) |
±0.1讀數(shù) |
±2% |
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5.電阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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PC軟件界面 PC software interface |
顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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7.測(cè)試方式test mode |
雙電測(cè)量Double electrical measurement |
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8.四探針儀工作電源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
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9.誤差errors |
≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples） |
≤15% |
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溫度(選購(gòu))Highest temperature (choose and buy) |
常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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氣氛保護(hù)（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無(wú)色、無(wú)臭、氣態(tài)的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. |
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溫度精度 Temperature precision |
沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C |
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升溫速度： rate of temperature increase |
常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes |
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高溫材料 High temperature material |
采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
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PC軟件 PC software |
測(cè)試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! |
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電極材料 Electrode materials |
鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
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探針間距 The probe spacing |
直線型探針，探針間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
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標(biāo)配外（選購(gòu)）： Except standard configuration (optional) |
電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè)； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
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高溫電源： High temperature power |
供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW |
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整機(jī)工作原理
方塊電阻測(cè)試時(shí)電流量程選擇表
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方塊電阻（Ω/□） |
電流量程 |
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0---1.2 |
100mA |
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1---25 |
10 mA |
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20---250 |
1 mA |
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200---2500 |
100μA |
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2000---25000 |
10μA |
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20000---250000 |
1μA |
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>200000 |
0.1μA |
方阻測(cè)試時(shí)根據(jù)用戶所選擇的電壓測(cè)量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測(cè)試的時(shí)候一直是6V
四探針測(cè)試方法
1.四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：
直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
操作流程及步驟
1.系統(tǒng)連接：將各個(gè)部件及控制系統(tǒng)、電源及USB通訊接口接通；
2.調(diào)通系統(tǒng)的連接是否正常，可以從PC軟件及電阻率測(cè)試儀上的數(shù)據(jù)變化看出.
3.在高溫箱體上分段設(shè)定所需要溫度，當(dāng)然也可以不分段而設(shè)定一個(gè)溫度.具體高溫箱體儀表操作請(qǐng)查看《溫度儀表操作手冊(cè)》.
4.待樣品通過(guò)高溫夾具進(jìn)入高溫箱體.
5.開啟惰性氣體輸入閥門.
6.溫度實(shí)時(shí)上升過(guò)程中，樣品阻值實(shí)時(shí)曲線變化.
7.帶溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)停止加熱.
8.測(cè)試完畢，關(guān)閉高溫電源，帶10-20分鐘后.
9.通過(guò)高溫手套，移動(dòng)夾具上升離開高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
PC軟件界面圖：
部分客戶案例：
河南大學(xué)
鄭州航空航天學(xué)院
南京航空航天大學(xué)
內(nèi)蒙古科技大學(xué)
西南科技大學(xué)
宜賓學(xué)院
北京理工大學(xué)
優(yōu)點(diǎn)介紹
1. 精度四探針測(cè)試儀匹配
2. 集成系統(tǒng)
3. 溫度達(dá)到1600度.
4. PC軟件實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理及分析.
5. 具有保護(hù)氣體功能.
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保：12個(gè)月，長(zhǎng)期維護(hù).
2.培訓(xùn)：操作培訓(xùn)：
電話教學(xué)；U盤教學(xué)文件；遠(yuǎn)程可視溝通；現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)；說(shuō)明書教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù)：
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識(shí)、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件：
3Q驗(yàn)證文件、計(jì)量證書
5.擴(kuò)展服務(wù)：
延保服務(wù)，樣品測(cè)試服務(wù)，后延服務(wù)，儀器租賃服務(wù).
